Молодой ученый из МФТИ разработал новый нагреватель, который поможет в создании современных наноэлектронных устройств. Устройство предназначено для вакуумной установки, используемой при производстве полупроводниковых структур.
Студент магистратуры Никита Жидков создал нагреватель, способный прогревать образцы из кремния до 600 градусов Цельсия.
Предыдущая версия нагревателя имела серьезное ограничение: она не могла работать в кислородной среде, что необходимо для создания определенных типов полупроводниковых структур. Новое устройство лишено этого недостатка.
«Новый нагреватель должен был соответствовать строгим требованиям, так как он будет использоваться в вакуумной установке. Прибор необходимо было разработать таким образом, чтобы он выдерживал высокие температуры и при этом не загрязнял рабочую среду. При его создании я опирался на геометрию и некоторые конструктивные элементы старого нагревателя, чтобы сохранить уже привычные сценарии использования», — рассказал Никита Жидков.
В новом нем используется специальная проволока, расположенная между двумя керамическими пластинами. Она нагревается при подаче электрического тока и передает тепло на образец. Для изготовления прибора использовались прочные и теплопроводящие материалы — керамика на основе оксида алюминия и сплав фехраль.
Испытания показали, что новый нагреватель работает стабильно и эффективно, позволяя создавать новые структуры из различных оксидов. Новое устройство не только способно работать при высоких температурах, но и более надежно и экономично, чем его предшественник.
Ранее REGIONS сообщил, что студенты МФТИ помогут создать похожую на персонажей «Головоломки» нейросеть.
